电子工业净化工程1

注意事项：
1、人流
1-1、人员净化：
1-2、洁净室入口宜设空气吹淋室。当不设空气吹淋室时，应设气闸室；
1-3、单人空气吹淋室，应按最大班人数30人设一台。洁净室人员超过5人时，空气吹淋室一侧应设单向旁通门；
1-4、空气吹淋室的进、出门不得同时开启，应采取连锁控制措施；
1-5、空气洁净度等级为5级或严于5级的垂直单向流洁净室，宜设气闸室。
2、物流
2-1、洁净室内的设备和物料出入口，应独立设置，并应根据设备和物料的特征、性质、形状等设置净化用室及相应的物净设施。
2-2、物料净化用室与洁净室之间应设置气闸室或传递窗。
3、静压差
3-1、不同等级的洁净室之间的静压差应大于等于5Pa；
3-2、洁净室与非洁净室之间的静压差应大于5Pa；
3-3、洁净室与室外的静压差应大于10Pa。